Автор: Мьюрарка Шиям П.

Основное заглавие: Силициды для СБИС

Ответственность: Пер. с англ. Баранова В. В.; Под ред. Чистякова Ю. Д.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1986

Место издания: М.

Издательство: Мир

Объем: 176с.

Ключевые слова: Интегральные микросхемы; Металлы; Микросхемы; Микроэлектронные схемы; Переходные металлы; Силициды;

ББК: 32.844.152

Библиография: Библиогр.: с. 6-7, 160-169. - Предм. указ.: с. 170-174