Автор: Красов Владимир Григорьевич

Другие авторы: Петраускас Г. Б.; Чернозубов Ю. С.

Основное заглавие: Толстопленочная технология в СВЧ микроэлектронике

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1985

Место издания: М.

Издательство: Радио и связь

Объем: 167с.

Серия: Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры

Ключевые слова: Микроэлектронные схемы; Микроэлектроника; СВЧ приборы

ББК: 32.844.15-06+32.844.13

Библиография: Библиогр.: с. 163-166