Вейко, Вадим Павлович. 
Лазерная oбрабoтка пленoчных элементoв [Текст] / Вейко Вадим Павлович - Л. : Машиностроение, Ленингр. отд-ние, 1986. - 247,(1) с. : ил. - Библиогр.: с. 239-246.



Автор: Вейко Вадим Павлович

Основное заглавие: Лазерная обработка пленочных элементов

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1986

Место издания: Л.

Издательство: Машиностроение, Ленингр. отд-ние

Объем: 247,(1) с.

Ключевые слова: Интегральные микросхемы; Лазерная обработка; Микроэлектронные схемы;

ББК: 32.844.15-05+32.844.13

Библиография: Библиогр.: с. 239-246

2165678
Вейко, Вадим Павлович. 
Лазерная oбрабoтка пленoчных элементoв [Текст] / Вейко Вадим Павлович - Л. : Машиностроение, Ленингр. отд-ние, 1986. - 247,(1) с. : ил. - Библиогр.: с. 239-246.
ББК 32.844.15-05+32.844.13
2165678-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же его копию, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 2165678 кх Доступна -