Автор: Блинов Иван Григорьевич
Другие авторы: Кожитов Л. В.
Основное заглавие: Оборудование полупроводникового производства
Сведения, относящ. к заглавию: Учеб. пособие для приборостроит. спец. вузов
Физический носитель: Текст
Год публикации: 1986
Место издания: М.
Издательство: Машиностроение
Объем: 262,(1) с.
Ключевые слова: Полупроводниковые приборы; Электронная промышленность;
ББК: 32.852-06я7
Библиография: Библиогр.: с. 256-258. - Предм. указ.: с. 259-263
№ | Инвентарный номер |
Сигла | Статус | Дата возврата |
---|---|---|---|---|
1 | 2180203 | кх | Доступна | - |
При использовании данного сайта, вы подтверждаете свое согласие на использование файлов «cookie» и других похожих технологий, а также платформы для связи с клиентами Jivo и сервиса «Яндекс. Метрика», «Яндекс Метрика для приложений» (AppMetrica), которое является частью политики ГБУК «СОУНБ» в отношении обработки персональных данных . Вы всегда можете отключить Cookie-файлы в настройках Вашего браузера