Автор: Блинов Иван Григорьевич

Другие авторы: Кожитов Л. В.

Основное заглавие: Оборудование полупроводникового производства

Сведения, относящ. к заглавию: Учеб. пособие для приборостроит. спец. вузов

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1986

Место издания: М.

Издательство: Машиностроение

Объем: 262,(1) с.

Ключевые слова: Полупроводниковые приборы; Электронная промышленность

ББК: 32.852-06я7

Библиография: Библиогр.: с. 256-258. - Предм. указ.: с. 259-263