Автор: Смородина Татьяна Александровна

Другие авторы: Шефталь Н. Н.; Цуранов А. П.

Основное заглавие: Вхождение примесных центров в кристаллический слой полупроводника

Сведения, относящ. к заглавию: (Процессы образования монокристал. слоев для микроэлектроники)

Ответственность: Отв. ред. Смирнов И. А.; АН СССР, Физ.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе, Ин-т кристаллографии им. А. В. Шубникова

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1986

Место издания: Л.

Издательство: Наука, Ленингр. отд-ние

Объем: 173с.

Ключевые слова: Кристаллы; Полупроводники; Примеси;

ББК: 22.375.14

Библиография: Библиогр.: с. 161-171