Автор: Карбань Валерий Иванович
Другие авторы: Борзаков Ю. И.
Основное заглавие: Обработка монокристаллов в микроэлектронике
Физический носитель: Текст
Год публикации: 1988
Место издания: М.
Издательство: Радио и связь
Объем: 103с.
ISBN: 5-256-00139-6
Cерия: Массовая библиотека инженера "Электроника"
Ключевые слова: Микроэлектроника; Микроэлектронные схемы; Монокристаллы;
ББК: 32.844.1-06
Библиография: Библиогр.: с. 96-102
№ | Инвентарный номер |
Сигла | Статус | Дата возврата |
---|---|---|---|---|
1 | 2251399 | кх | Доступна | - |