Автор: Александров Владимир Кузьмич

Другие авторы: Биенко Ю. Н.; Ильин В. Н.

Основное заглавие: Оптико-электронные средства размерного контроля технологических микрообъектов

Ответственность: АН БССР, Ин-т электрон.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1988

Место издания: Минск

Издательство: Наука и техника

Объем: 239,(1) с.

ISBN: 5-343-00264-1

Ключевые слова: Контроль; Контрольно-измерительные инструменты; Контрольно-измерительные приборы; Микрообъекты; Оптоэлектронные инструменты; Оптоэлектронные приборы; Размерный контроль; Технологические микрообъекты;

ББК: 32.86-5

Библиография: Библиогр.: с. 233-238