Автор: Гиваргизов Евгений Инвиевич

Основное заглавие: Искусственная эпитаксия - перспективная технология элементной базы микроэлектроники

Ответственность: Предисл. Велихова Е. П.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1988

Место издания: М.

Издательство: Наука

Объем: 175,(1) с.

ISBN: 5-02-013845-2

Cерия: Проблемы науки и технического прогресса : ПНТП

Ключевые слова: Полупроводниковые пленки;

ББК: 32.844.13

Библиография: Библиогр.: с. 158-176