Автор: Гиваргизов Евгений Инвиевич
Основное заглавие: Искусственная эпитаксия - перспективная технология элементной базы микроэлектроники
Ответственность: Предисл. Велихова Е. П.
Физический носитель: Текст
Год публикации: 1988
Место издания: М.
Издательство: Наука
Объем: 175,(1) с.
ISBN: 5-02-013845-2
Cерия: Проблемы науки и технического прогресса : ПНТП
Ключевые слова: Полупроводниковые пленки;
ББК: 32.844.13
Библиография: Библиогр.: с. 158-176
№ | Инвентарный номер |
Сигла | Статус | Дата возврата |
---|---|---|---|---|
1 | 2243093 | кх | Доступна | - |
При использовании данного сайта, вы подтверждаете свое согласие на использование файлов «cookie» и других похожих технологий, а также платформы для связи с клиентами Jivo и сервиса «Яндекс. Метрика», «Яндекс Метрика для приложений» (AppMetrica), которое является частью политики ГБУК «СОУНБ» в отношении обработки персональных данных . Вы всегда можете отключить Cookie-файлы в настройках Вашего браузера