Автор: Раков Эдуард Григорьевич

Другие авторы: Тесленко В. В.

Основное заглавие: Химия в микроэлектронике

Сведения, относящ. к заглавию: (Хим. осаждение из газовой фазы)

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1988

Место издания: М.

Издательство: Знание

Объем: 45,[2]с.

Cерия: Новое в жизни, науке, технике

Ключевые слова: Химия; Микроэлектроника; Тугоплавкие соединения;

ББК: 32.844.15-06

Библиография: Библиогр.: с. 41-42