Процессы роста полупроводниковых кристаллов и пленок — Самарская областная универсальная научная библиотека

Процессы роста полупроводниковых кристаллов и пленок [Текст] : Сб. науч. тр. / АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т неорган. химии; Отв. ред. Кузнецов Ф. А. - Новосибирск : Наука, Сиб. отд-ние, 1988. - 195,(3) с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.в конце ст. - ISBN 5-02-028671-0

Основное заглавие: Процессы роста полупроводниковых кристаллов и пленок

Сведения, относящ. к заглавию: Сб. науч. тр.

Ответственность: АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т неорган. химии; Отв. ред. Кузнецов Ф. А.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1988

Место издания: Новосибирск

Издательство: Наука, Сиб. отд-ние

Объем: 195,(3) с.

ISBN: 5-02-028671-0

Ключевые слова: Кристаллы; Пленки; Полупроводники; Полупроводниковые пленки

ББК: 32.843.3-06

Библиография: Библиогр.в конце ст.