Основное заглавие: Процессы роста полупроводниковых кристаллов и пленок

Сведения, относящ. к заглавию: Сб. науч. тр.

Ответственность: АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т неорган. химии; Отв. ред. Кузнецов Ф. А.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1988

Место издания: Новосибирск

Издательство: Наука, Сиб. отд-ние

Объем: 195,(3) с.

ISBN: 5-02-028671-0

Ключевые слова: Кристаллы; Пленки; Полупроводники; Полупроводниковые пленки;

ББК: 32.843.3-06

Библиография: Библиогр.в конце ст.