Плазменная технoлoгия в прoизвoдстве СБИС [Текст] / Толливер Д., Новицки Р., Хесс Д., и др.; Под ред. Айнспрука Н., Брауна Д.; Пер. с англ. Золотарева Ю. М., Юдина В. В.; Под ред. Машковой Е. С. - М. : Мир, 1987. - 469с. : ил. - Библиогр.в конце гл.-Предм.-имен.указ.: с. 463-466.



Основное заглавие: Плазменная технология в производстве СБИС

Ответственность: Толливер Д., Новицки Р., Хесс Д., и др.; Под ред. Айнспрука Н., Брауна Д.; Пер. с англ. Золотарева Ю. М., Юдина В. В.; Под ред. Машковой Е. С.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1987

Место издания: М.

Издательство: Мир

Объем: 469с.

Ключевые слова: Плазменная обработка; Интегральные микросхемы; Микроэлектронные схемы;

ББК: 32.844.152

Библиография: Библиогр.в конце гл.-Предм.-имен.указ.: с. 463-466

2213728
 
Плазменная технoлoгия в прoизвoдстве СБИС [Текст] / Толливер Д., Новицки Р., Хесс Д., и др.; Под ред. Айнспрука Н., Брауна Д.; Пер. с англ. Золотарева Ю. М., Юдина В. В.; Под ред. Машковой Е. С. - М. : Мир, 1987. - 469с. : ил. - Библиогр.в конце гл.-Предм.-имен.указ.: с. 463-466.
ББК 32.844.152
2213728-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же копию его фрагмента, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 2213728 кх Доступна -
Х

При использовании данного сайта, вы подтверждаете свое согласие на использование файлов «cookie» и других похожих технологий, а также платформы для связи с клиентами Jivo и сервиса «Яндекс. Метрика», «Яндекс Метрика для приложений» (AppMetrica), которое является частью политики ГБУК «СОУНБ» в отношении обработки персональных данных . Вы всегда можете отключить Cookie-файлы в настройках Вашего браузера