Основное заглавие: Плазменная технология в производстве СБИС

Ответственность: Толливер Д., Новицки Р., Хесс Д., и др.; Под ред. Айнспрука Н., Брауна Д.; Пер. с англ. Золотарева Ю. М., Юдина В. В.; Под ред. Машковой Е. С.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1987

Место издания: М.

Издательство: Мир

Объем: 469с.

Ключевые слова: Плазменная обработка; Интегральные микросхемы; Микроэлектронные схемы

ББК: 32.844.152

Библиография: Библиогр.в конце гл.-Предм.-имен.указ.: с. 463-466