Автор: Панфилов Юрий Васильевич

Другие авторы: Рябов В. Т.; Цветков Ю. Б.

Основное заглавие: Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы

Сведения, относящ. к заглавию: Учеб. для сред. спец. учеб. заведений по спец. "Пр-во микроэлектрон. устройств"

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1988

Место издания: М.

Издательство: Радио и связь

Объем: 320с.

ISBN: 5-256-00062-4

Ключевые слова: Микроэлектронные схемы; Роботы; Промышленные роботы; Интегральные микросхемы;

ББК: 32.844.15-06я7+32.816.2я7

Библиография: Библиогр.: с. 318