Автор: Моряков Олег Сергеевич
Основное заглавие: Термические процессы в микроэлектронике
Сведения, относящ. к заглавию: Учеб. для сред. ПТУ
Физический носитель: Текст
Год публикации: 1987
Место издания: М.
Издательство: Высш. шк.
Объем: 198,(1) с.
Серия: Профессионально-техническое образование
Ключевые слова: Полупроводниковые приборы; Микроэлектроника; Термическая обработка
ББК: 32.852-06я7
Библиография: Библиогр.: с. 197
Находится: СОУНБ
Сведения об экземплярах, инвентарных номерах и статусе выдачи поступают из АБИС и появятся на карточке после подключения к ней. Заказ издания из фонда — на следующем этапе каталога.