Автор: Запорожский Владимир Петрович

Другие авторы: Лапшинов Б. А.

Основное заглавие: Обработка полупроводниковых материалов

Сведения, относящ. к заглавию: Учеб. пособие для сред. ПТУ

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1988

Место издания: М.

Издательство: Высш. шк.

Объем: 181,[3]с.

Ключевые слова: Полупроводниковые материалы; Полупроводниковые приборы;

ББК: 32.852-06я7

Библиография: Библиогр.: с. 183