Васичев, Борис Никитович.
Развитие рентгеновской и ионной литографии [Текст] / Васичев Борис Никитович - М. : Знание, 1988. - 63,[1]с. : ил. ; 20 см. - (Новое в жизни, науке, технике. Радиоэлектроника и связь ; 9/1988). - Библиогр.: с. 45.

Автор: Васичев Борис Никитович

Основное заглавие: Развитие рентгеновской и ионной литографии

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1988

Место издания: М.

Издательство: Знание

Объем: 63,[1]с.

Серия: Новое в жизни, науке, технике

Ключевые слова: Ионы; Литография; Рентгенография; Рентгеновская литография; Литография; Ионная литография; Литография

ББК: 32.844.15-06

Библиография: Библиогр.: с. 45