Быстров, Юрий Александрович. 
Технoлoгический кoнтрoль размерoв в микрoэлектрoннoм прoизвoдстве [Текст] / Быстров Юрий Александрович, Колгин Е. А.; Котлецов Б. Н. - М. : Радио и связь, 1988. - 165,[2]с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 162-166. - ISBN 5-256-00006-3



Автор: Быстров Юрий Александрович

Другие авторы: Колгин Е. А.; Котлецов Б. Н.

Основное заглавие: Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1988

Место издания: М.

Издательство: Радио и связь

Объем: 165,[2]с.

ISBN: 5-256-00006-3

Ключевые слова: Интегральные микросхемы; Микросхемы; Микроэлектроника; Микроэлектронные схемы; Технический контроль;

ББК: 32.844.15-06

Библиография: Библиогр.: с. 162-166

2229159
Быстров, Юрий Александрович. 
Технoлoгический кoнтрoль размерoв в микрoэлектрoннoм прoизвoдстве [Текст] / Быстров Юрий Александрович, Колгин Е. А.; Котлецов Б. Н. - М. : Радио и связь, 1988. - 165,[2]с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 162-166. - ISBN 5-256-00006-3
ББК 32.844.15-06
2229159-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же копию его фрагмента, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 2229159 кх Доступна -
Х

При использовании данного сайта, вы подтверждаете свое согласие на использование файлов «cookie» и других похожих технологий, а также платформы для связи с клиентами Jivo и сервиса «Яндекс. Метрика», «Яндекс Метрика для приложений» (AppMetrica), которое является частью политики ГБУК «СОУНБ» в отношении обработки персональных данных . Вы всегда можете отключить Cookie-файлы в настройках Вашего браузера