Автор: Быстров Юрий Александрович

Другие авторы: Колгин Е. А.; Котлецов Б. Н.

Основное заглавие: Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1988

Место издания: М.

Издательство: Радио и связь

Объем: 165,[2]с.

ISBN: 5-256-00006-3

Ключевые слова: Интегральные микросхемы; Микросхемы; Микроэлектроника; Микроэлектронные схемы; Технический контроль;

ББК: 32.844.15-06

Библиография: Библиогр.: с. 162-166