Ахманов, Александр Сергеевич. 
Физические принципы микрoтехнoлoгии [Текст] : Учеб. пособие / Ахманов Александр Сергеевич ; МГУ им. М. В. Ломоносова, Физ. фак., НИИ ядер. физики, Каф. атом. физики и физики плазмы. - М. : Изд-во МГУ, 1988. - 62с. : ил. ; 20 см. - Библиогр.: с. 62.



Автор: Ахманов Александр Сергеевич

Основное заглавие: Физические принципы микротехнологии

Сведения, относящ. к заглавию: Учеб. пособие

Ответственность: МГУ им. М. В. Ломоносова, Физ. фак., НИИ ядер. физики, Каф. атом. физики и физики плазмы

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1988

Место издания: М.

Издательство: Изд-во МГУ

Объем: 62с.

Ключевые слова: Микротехнология; Микроэлектроника;

ББК: 32.844.1я7

Библиография: Библиогр.: с. 62

2277406
Ахманов, Александр Сергеевич. 
Физические принципы микрoтехнoлoгии [Текст] : Учеб. пособие / Ахманов Александр Сергеевич ; МГУ им. М. В. Ломоносова, Физ. фак., НИИ ядер. физики, Каф. атом. физики и физики плазмы. - М. : Изд-во МГУ, 1988. - 62с. : ил. ; 20 см. - Библиогр.: с. 62.
ББК 32.844.1я7
2277406-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же его копию, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 2277406 кх Доступна -