Автор: Ахманов Александр Сергеевич
Основное заглавие: Физические принципы микротехнологии
Сведения, относящ. к заглавию: Учеб. пособие
Ответственность: МГУ им. М. В. Ломоносова, Физ. фак., НИИ ядер. физики, Каф. атом. физики и физики плазмы
Физический носитель: Текст
Год публикации: 1988
Место издания: М.
Издательство: Изд-во МГУ
Объем: 62с.
Ключевые слова: Микротехнология; Микроэлектроника
ББК: 32.844.1я7
Библиография: Библиогр.: с. 62
Находится: СОУНБ
Сведения об экземплярах, инвентарных номерах и статусе выдачи поступают из АБИС и появятся на карточке после подключения к ней. Заказ издания из фонда — на следующем этапе каталога.