Основное заглавие: Технологические проблемы микроэлектроники

Ответственность: АН СССР; Отв. ред. Махвиладзе Т. М., Раков А. В.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1988

Место издания: М.

Издательство: Наука

Объем: 169,[3]с.

ISBN: 5-02-000723-4

Cерия: Труды Института общей физики

Ключевые слова: Интегральные микросхемы; Микроэлектроника; Микроэлектронные схемы;

ББК: 32.844.15-06

Библиография: Библиогр.в конце ст.