Основное заглавие: Оборудование ионной имплантации

Ответственность: Симонов В. В., Корнилов Л. А., Шашелев А. В., Шокин Е. В.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1988

Место издания: М.

Издательство: Радио и связь

Объем: 182,(1) с.

ISBN: 5-256-00007-1

Ключевые слова: Легирование; Ионная имплантация;

ББК: 32.844.15-06

Библиография: Библиогр.: с. 170-181