Автор: Барабан Александр Петрович

Другие авторы: Булавинов В. В.; Коноров П. П.

Основное заглавие: Электроника слоев SiO'2 на кремнии

Ответственность: ЛГУ

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1988

Место издания: Л.

Издательство: Изд-во ЛГУ

Объем: 302,[1]с.

ISBN: 5-288-00055-7

Ключевые слова: МДП-структуры; Кремний; Двуокиси; Электроника;

ББК: 22.379.233

Библиография: Библиогр.: с. 275-301