Автор: Данилин Борис Степанович

Другие авторы: Киреев В. Ю.

Основное заглавие: Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1987

Место издания: М.

Издательство: Энергоатомиздат

Объем: 262,(1) с.

Ключевые слова: Плазма; Материалы; Травление; Очистка; Низкотемпературная плазма;

ББК: 30.61/67

Библиография: Библиогр.: с. 252-260