Харченко, Валерий Владимирович. 
Пoлучение эпитаксиальных структур кремния с кoнтрoлируемым примесным прoфилем [Текст] / Харченко Валерий Владимирович ; АН УзССР, Центр. проект.-конструкт. и технол. бюро науч. приборостроения. - Ташкент : Фан, 1989. - 167,[1]с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 157-166. - ISBN 5-648-00390-0



Автор: Харченко Валерий Владимирович

Основное заглавие: Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем

Ответственность: АН УзССР, Центр. проект.-конструкт. и технол. бюро науч. приборостроения

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1989

Место издания: Ташкент

Издательство: Фан

Объем: 167,[1]с.

ISBN: 5-648-00390-0

Ключевые слова: Газовые фазы; Контроль; Кремний; Осаждение; Полупроводниковые пленки; Приборостроение; Примеси; Эпитаксия;

ББК: 32.843.3-06

Библиография: Библиогр.: с. 157-166

2282187
Харченко, Валерий Владимирович. 
Пoлучение эпитаксиальных структур кремния с кoнтрoлируемым примесным прoфилем [Текст] / Харченко Валерий Владимирович ; АН УзССР, Центр. проект.-конструкт. и технол. бюро науч. приборостроения. - Ташкент : Фан, 1989. - 167,[1]с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 157-166. - ISBN 5-648-00390-0
ББК 32.843.3-06
2282187-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же копию его фрагмента, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 2282187 кх Доступна -
Х

При использовании данного сайта, вы подтверждаете свое согласие на использование файлов «cookie» и других похожих технологий, а также платформы для связи с клиентами Jivo и сервиса «Яндекс. Метрика», «Яндекс Метрика для приложений» (AppMetrica), которое является частью политики ГБУК «СОУНБ» в отношении обработки персональных данных . Вы всегда можете отключить Cookie-файлы в настройках Вашего браузера