Автор: Харченко Валерий Владимирович

Основное заглавие: Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем

Ответственность: АН УзССР, Центр. проект.-конструкт. и технол. бюро науч. приборостроения

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1989

Место издания: Ташкент

Издательство: Фан

Объем: 167,[1]с.

ISBN: 5-648-00390-0

Ключевые слова: Газовые фазы; Контроль; Кремний; Осаждение; Полупроводниковые пленки; Приборостроение; Примеси; Эпитаксия;

ББК: 32.843.3-06

Библиография: Библиогр.: с. 157-166