Автор: Румак Николай Владимирович

Другие авторы: Хатько В. В.

Основное заглавие: Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике

Ответственность: Под ред. Борисенко В. Е.; АН БССР, Физ.-техн. ин-т

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1990

Место издания: Минск

Издательство: Навука i тэхнiка

Объем: 190,[1]с.

ISBN: 5-343-00540-3

Ключевые слова: Диэлектрики; Диэлектрические материалы; Интегральные микросхемы; МДП-структуры; Микроэлектроника; Микроэлектронные схемы

ББК: 32.844.14+32.844.15

Библиография: Библиогр.: с. 181-189