Автор: Полтавцев Юрий Гаврилович

Другие авторы: Князев А. С.

Основное заглавие: Технология обработки поверхностей в микроэлектронике

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1990

Место издания: Киев

Издательство: Тэхника

Объем: 205,(1)с.

ISBN: 5-335-00572-6

Ключевые слова: Детали; Интегральные микросхемы; Микроэлектроника; Микроэлектронные схемы;

ББК: 32.844.15-06

Библиография: Библиогр.: с. 197-204