Моряков, Олег Сергеевич.
Устройства и наладка оборудования полупроводникового производства [Текст] : Учеб. для ПТУ / Моряков Олег Сергеевич - 4-е изд., перераб. и доп. - М. : Высш. шк., 1989. - 235,[4]с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 237. - ISBN 5-06-000300-0

Автор: Моряков Олег Сергеевич

Основное заглавие: Устройства и наладка оборудования полупроводникового производства

Сведения, относящ. к заглавию: Учеб. для ПТУ

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1989

Место издания: М.

Издательство: Высш. шк.

Объем: 235,[4]с.

ISBN: 5-06-000300-0

Ключевые слова: Полупроводниковые приборы

ББК: 32.852-06я7

Библиография: Библиогр.: с. 237