Автор: Верховский Евгений Ильич
Основное заглавие: Лазерная технология в производстве интегральных микросхем
Сведения, относящ. к заглавию: Учеб. пособие для ПТУ
Физический носитель: Текст
Год публикации: 1990
Место издания: М.
Издательство: Высш. шк.
Объем: 54,(2)с.
ISBN: 5-06-001078-3
Ключевые слова: Интегральные микросхемы; Лазерная обработка; Микросхемы; Микроэлектронные схемы
ББК: 32.844.15-06я7
Находится: СОУНБ
Сведения об экземплярах, инвентарных номерах и статусе выдачи поступают из АБИС и появятся на карточке после подключения к ней. Заказ издания из фонда — на следующем этапе каталога.