Чистые пoмещения [Текст] / Хаякава И., Окадзаки Т., Фудзии С. и др.; Под ред. Хаякавы И.; Пер. с яп. Акифьева В. Ю. и др.; Под ред. Ржанова В. Г., Ушакова В. И. - М. : Мир, 1990. - 454с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 439-450. - Предм. указ.: с. 451-452. - ISBN 5-03-000363-0



Основное заглавие: Чистые помещения

Ответственность: Хаякава И., Окадзаки Т., Фудзии С. и др.; Под ред. Хаякавы И.; Пер. с яп. Акифьева В. Ю. и др.; Под ред. Ржанова В. Г., Ушакова В. И.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1990

Место издания: М.

Издательство: Мир

Объем: 454с.

ISBN: 5-03-000363-0

Ключевые слова: Интегральные микросхемы; Микросхемы; Микроэлектроника; Микроэлектронные схемы; Производственные помещения; Производство;

ББК: 30.61/67

Библиография: Библиогр.: с. 439-450. - Предм. указ.: с. 451-452

2306197
 
Чистые пoмещения [Текст] / Хаякава И., Окадзаки Т., Фудзии С. и др.; Под ред. Хаякавы И.; Пер. с яп. Акифьева В. Ю. и др.; Под ред. Ржанова В. Г., Ушакова В. И. - М. : Мир, 1990. - 454с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 439-450. - Предм. указ.: с. 451-452. - ISBN 5-03-000363-0
ББК 30.61/67
2306197-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же копию его фрагмента, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 2306197 кх Доступна -
Х

При использовании данного сайта, вы подтверждаете свое согласие на использование файлов «cookie» и других похожих технологий, а также платформы для связи с клиентами Jivo и сервиса «Яндекс. Метрика», «Яндекс Метрика для приложений» (AppMetrica), которое является частью политики ГБУК «СОУНБ» в отношении обработки персональных данных . Вы всегда можете отключить Cookie-файлы в настройках Вашего браузера