Основное заглавие: Чистые помещения

Ответственность: Хаякава И., Окадзаки Т., Фудзии С. и др.; Под ред. Хаякавы И.; Пер. с яп. Акифьева В. Ю. и др.; Под ред. Ржанова В. Г., Ушакова В. И.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1990

Место издания: М.

Издательство: Мир

Объем: 454с.

ISBN: 5-03-000363-0

Ключевые слова: Интегральные микросхемы; Микросхемы; Микроэлектроника; Микроэлектронные схемы; Производственные помещения; Производство

ББК: 30.61/67

Библиография: Библиогр.: с. 439-450. - Предм. указ.: с. 451-452