Автор: Пархутик Виталий Петрович
Другие авторы: Лабунов В. А.
Основное заглавие: Плазменное анодирование
Сведения, относящ. к заглавию: Физика, техника, применение в микроэлектронике
Физический носитель: Текст
Год публикации: 1990
Место издания: Минск
Издательство: Навука i тэхнiка
Объем: 279,(1)с.
ISBN: 5-343-00522-5
Ключевые слова: Анодирование; Плазменное анодирование; Газотермические покрытия;
ББК: 34.663.3
Библиография: Библиогр.: с. 252-276
№ | Инвентарный номер |
Сигла | Статус | Дата возврата |
---|---|---|---|---|
1 | 2325538 | кх | Доступна | - |