Сбoрник научных трудoв "Активируемые прoцессы технoлoгии микрoэлектрoники" [текст] / Моск. ин-т электрон. техники ; [отв. ред. Ю. Д. Чистяков]. - Москва : МИЭТ, 1980. - 123 с. : ил. - Библиогр. в конце работ.



Основное заглавие: Сборник научных трудов "Активируемые процессы технологии микроэлектроники"

Ответственность: Моск. ин-т электрон. техники ; [отв. ред. Ю. Д. Чистяков]

Физический носитель: текст

Год публикации: 1980

Место издания: Москва

Издательство: МИЭТ

Объем: 123 с.

Ключевые слова: Микроэлектронные схемы; Производство;

ББК: 32.844.1-06

Библиография: Библиогр. в конце работ

1982175
 
Сбoрник научных трудoв "Активируемые прoцессы технoлoгии микрoэлектрoники" [текст] / Моск. ин-т электрон. техники ; [отв. ред. Ю. Д. Чистяков]. - Москва : МИЭТ, 1980. - 123 с. : ил. - Библиогр. в конце работ.
ББК 32.844.1-06
1982175-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же его копию, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 1982175 кх Доступна -