Основное заглавие: Сборник научных трудов "Автоматические приборы и оборудование в микроэлектронике"

Ответственность: Моск. ин-т электрон. техники ; [редкол.: А. А. Сазонов и др.]

Физический носитель: текст

Год публикации: 1981

Место издания: Москва

Издательство: МИЭТ

Объем: 124 с.

Ключевые слова: Микроэлектронные схемы; Электронные схемы; Производство; Автоматизация;

ББК: 32.844.1-06

Библиография: Библиогр. в конце работ