Дефекты структуры в иoннo-имплантирoваннoм кремнии [Текст] / Комаров Ф. Ф., Новиков А. П., Соловьев В. С., Ширяев С. Ю. - Минск : Университетское, 1990. - 318,(1)с. : 8л.ил. ; 22 см. - Рез.: англ. - Библиогр.: с. 293-318 . - ISBN 5-7855-0192-9



Основное заглавие: Дефекты структуры в ионно-имплантированном кремнии

Ответственность: Комаров Ф. Ф., Новиков А. П., Соловьев В. С., Ширяев С. Ю.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1990

Место издания: Минск

Издательство: Университетское

Объем: 318,(1)с.

ISBN: 5-7855-0192-9

Примечание: Рез.: англ.

Ключевые слова: Кремний; Ионное легирование; Легирование; Дефекты;

ББК: 24.124.2

Библиография: Библиогр.: с. 293-318

2321829
 
Дефекты структуры в иoннo-имплантирoваннoм кремнии [Текст] / Комаров Ф. Ф., Новиков А. П., Соловьев В. С., Ширяев С. Ю. - Минск : Университетское, 1990. - 318,(1)с. : 8л.ил. ; 22 см. - Рез.: англ. - Библиогр.: с. 293-318 . - ISBN 5-7855-0192-9
ББК 24.124.2
2321829-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же копию его фрагмента, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 2321829 кх Доступна -
Х

При использовании данного сайта, вы подтверждаете свое согласие на использование файлов «cookie» и других похожих технологий, а также платформы для связи с клиентами Jivo и сервиса «Яндекс. Метрика», «Яндекс Метрика для приложений» (AppMetrica), которое является частью политики ГБУК «СОУНБ» в отношении обработки персональных данных . Вы всегда можете отключить Cookie-файлы в настройках Вашего браузера