Основное заглавие: Дефекты структуры в ионно-имплантированном кремнии

Ответственность: Комаров Ф. Ф., Новиков А. П., Соловьев В. С., Ширяев С. Ю.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1990

Место издания: Минск

Издательство: Университетское

Объем: 318,(1)с.

ISBN: 5-7855-0192-9

Примечание: Рез.: англ.

Ключевые слова: Кремний; Ионное легирование; Легирование; Дефекты

ББК: 24.124.2

Библиография: Библиогр.: с. 293-318