Основное заглавие: Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов
Ответственность: под редакцией Брюэра Дж. Р. ; перевод с английского под редакцией Пресса Ф. П.
Год публикации: 1984
Место издания: Москва
Издательство: Радио и связь
Объем: 336 с.
Ключевые слова: Микросхемы; Микроэлектронные схемы; Интегральные микросхемы; Электронно-лучевая обработка
ББК: 32.844.15-06
Библиография: Библиогр.: с. 316-328
Находится: СОУНБ
Сведения об экземплярах, инвентарных номерах и статусе выдачи поступают из АБИС и появятся на карточке после подключения к ней. Заказ издания из фонда — на следующем этапе каталога.