Основное заглавие: Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов

Ответственность: под редакцией Брюэра Дж. Р. ; перевод с английского под редакцией Пресса Ф. П.

Год публикации: 1984

Место издания: Москва

Издательство: Радио и связь

Объем: 336 с.

Ключевые слова: Микросхемы; Микроэлектронные схемы; Интегральные микросхемы; Электронно-лучевая обработка;

ББК: 32.844.15-06

Библиография: Библиогр.: с. 316-328