Автор: Данилин Борис Степанович
Основное заглавие: Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
Физический носитель: Текст
Год публикации: 1989
Место издания: М.
Издательство: Энергоатомиздат
Объем: 326,(1)с.
ISBN: 5-283-03939-0
Ключевые слова: Пленки; Тонкие пленки; Плазма; Низкотемпературная плазма
ББК: 32.844.15-06+32.844.13
Библиография: Библиогр.: с. 316-324
Находится: СОУНБ
Сведения об экземплярах, инвентарных номерах и статусе выдачи поступают из АБИС и появятся на карточке после подключения к ней. Заказ издания из фонда — на следующем этапе каталога.