Данилин, Борис Степанович. 
Применение низкoтемпературнoй плазмы для нанесения тoнких пленoк [Текст] / Данилин Борис Степанович - М. : Энергоатомиздат, 1989. - 326,(1)с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 316-324 . - ISBN 5-283-03939-0



Автор: Данилин Борис Степанович

Основное заглавие: Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1989

Место издания: М.

Издательство: Энергоатомиздат

Объем: 326,(1)с.

ISBN: 5-283-03939-0

Ключевые слова: Пленки; Тонкие пленки; Плазма; Низкотемпературная плазма;

ББК: 32.844.15-06+32.844.13

Библиография: Библиогр.: с. 316-324

2277793
Данилин, Борис Степанович. 
Применение низкoтемпературнoй плазмы для нанесения тoнких пленoк [Текст] / Данилин Борис Степанович - М. : Энергоатомиздат, 1989. - 326,(1)с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 316-324 . - ISBN 5-283-03939-0
ББК 32.844.15-06+32.844.13
2277793-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же его копию, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 2277793 кх Доступна -