Основное заглавие: Проблемы субмикронной технологии

Ответственность: Отв. ред. Орликовский А. А.; Рос. АН, Физ.-технол. ин-т

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1993

Место издания: М.

Издательство: Наука

Объем: 111,[2]с.

ISBN: 5-02-006991-4

Cерия: Труды Физико-технологического института

Ключевые слова: Интегральные микросхемы; Микроэлектроника;

ББК: 32.844.15-06

Библиография: Библиогр. в конце ст.