Основное заглавие: Моделирование технологических процессов микроэлектроники

Ответственность: Отв. ред. и авт. предисл. Махвиладзе Т. М.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1992

Место издания: М.

Издательство: Наука

Объем: 117,(3)с.

ISBN: 5-02-006867-5

Cерия: Труды Физико-технологического института

Ключевые слова: Микроэлектроника; Интегральные микросхемы;

ББК: 32.844.15-06

Библиография: Библиогр. в конце ст.