Основное заглавие: Диагностика микроэлектронных структур

Ответственность: Отв. ред. Афанасьев А. М.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1993

Место издания: М.

Издательство: Наука

Объем: 110,(2)с.

ISBN: 5-02-006981-7

Серия: Труды Физико-технологического института

Ключевые слова: Интегральные микросхемы; Техническая диагностика; Диагностика (техн.)

ББК: 32.844.15

Библиография: Библиогр. в конце ст.