Основное заглавие: Проблемы микроэлектроники

Сведения, относящ. к заглавию: Сб. ст.

Ответственность: АН СССР; Гл. ред. Валиев К. А.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1991

Место издания: М.

Издательство: Наука

Объем: 92,(3)с.

Cерия: Труды Физико-технологического института

Ключевые слова: Микроэлектроника;

ББК: 32.844.1я54

Библиография: Библиогр. в конце ст.