Основное заглавие: Проблемы микроэлектронной технологии
Ответственность: Рос. АН, Физ.-технол. ин-т; Гл. ред. Балиев Л. В.; Отв. ред. Великов Л.В.
Физический носитель: Текст
Год публикации: 1992
Место издания: М.
Издательство: Наука
Объем: 97,(3)с.
ISBN: 5-02-006868-3
Cерия: Труды Физико-технологического института
Ключевые слова: Микроэлектронная аппаратура; Микроэлектроника;
ББК: 32.844.1-06
Библиография: Библиогр. в конце ст.
№ | Инвентарный номер |
Сигла | Статус | Дата возврата |
---|---|---|---|---|
1 | 2369879 | кх | Доступна | - |
При использовании данного сайта, вы подтверждаете свое согласие на использование файлов «cookie» и других похожих технологий, а также платформы для связи с клиентами Jivo и сервиса «Яндекс. Метрика», «Яндекс Метрика для приложений» (AppMetrica), которое является частью политики ГБУК «СОУНБ» в отношении обработки персональных данных . Вы всегда можете отключить Cookie-файлы в настройках Вашего браузера