Основное заглавие: Проблемы микроэлектронной технологии

Ответственность: Рос. АН, Физ.-технол. ин-т; Гл. ред. Балиев Л. В.; Отв. ред. Великов Л.В.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1992

Место издания: М.

Издательство: Наука

Объем: 97,(3)с.

ISBN: 5-02-006868-3

Cерия: Труды Физико-технологического института

Ключевые слова: Микроэлектронная аппаратура; Микроэлектроника;

ББК: 32.844.1-06

Библиография: Библиогр. в конце ст.