Автор: Перевощиков Виктор Александрович
Другие авторы: Скупов В. Д.
Основное заглавие: Особенности абразивной и химической обработки поверхности полупроводников
Сведения, относящ. к заглавию: Монография
Физический носитель: Текст
Год публикации: 1992
Место издания: Н. Новгород
Издательство: Изд-во Нижегор. ун-та
Объем: 195,(3)с.
ISBN: 5-230-04179-X
Ключевые слова: Полупроводники; Абразивная обработка; Химическая обработка;
ББК: 32.843.3
Библиография: Библиогр.: с. 189-196
№ | Инвентарный номер |
Сигла | Статус | Дата возврата |
---|---|---|---|---|
1 | 2382284 | кх | Доступна | - |