Автор: Перевощиков Виктор Александрович

Другие авторы: Скупов В. Д.

Основное заглавие: Особенности абразивной и химической обработки поверхности полупроводников

Сведения, относящ. к заглавию: Монография

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1992

Место издания: Н. Новгород

Издательство: Изд-во Нижегор. ун-та

Объем: 195,(3)с.

ISBN: 5-230-04179-X

Ключевые слова: Полупроводники; Абразивная обработка; Химическая обработка

ББК: 32.843.3

Библиография: Библиогр.: с. 189-196