Автор: Шваенко Михаил Александрович

Основное заглавие: Конструктивно-технологические особенности изготовления приборов с углубленной в кремний окисной изоляцией

Год публикации: 1982

Место издания: Киев

Издательство: Общество "Знание" Украинской ССР

Объем: 19 с.

Cерия: В помощь лектору и специалисту

Ключевые слова: МДП-структуры; Микроэлектронные схемы; Интегральные схемы;

ББК: 32.844.152

Библиография: Библиогр.: с. 19