Послойный анализ материалов электронной техники — Самарская областная универсальная научная библиотека

Шелпакова, Ирина Рудольфовна.

Послойный анализ материалов электронной техники / Шелпакова Ирина Рудольфовна, Юделевич Иосиф Гершович, Аюпов Борис Менгареевич ; ответственный редактор Карпов Ю. А. ; Академия наук СССР, Сибирское отделение, Институт неорганической химии. - Новосибирск : Наука, Сибирское отделение, 1984. - 181 с. : ил. - Библиогр.: с. 159-179 (427 назв.).

Автор: Шелпакова Ирина Рудольфовна

Другие авторы: Юделевич Иосиф Гершович; Аюпов Борис Менгареевич

Основное заглавие: Послойный анализ материалов электронной техники

Ответственность: ответственный редактор Карпов Ю. А. ; Академия наук СССР, Сибирское отделение, Институт неорганической химии

Год публикации: 1984

Место издания: Новосибирск

Издательство: Наука, Сибирское отделение

Объем: 181 с.

Ключевые слова: Электронные приборы; Полупроводники; Химический анализ; Электронные материалы

ББК: 32.85-06

Библиография: Библиогр.: с. 159-179 (427 назв.)