Автор: Березин Андрей Сергеевич

Другие авторы: Мочалкина О. Р.

Основное заглавие: Технология и конструирование интегральных микросхем

Сведения, относящ. к заглавию: Учеб. пособие для вузов по спец. "Физика и технология материалов и компонентов электрон. техники" и "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы"

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1992

Место издания: М.

Издательство: Радио и связь

Объем: 319,(1)с.

ISBN: 5-256-01014-X

Ключевые слова: Интегральные микросхемы;

ББК: 32.844.15я7

Библиография: Библиогр.: с. 316-317