Автор: Четвериков Николай Иванович

Другие авторы: Полутин Владимир Степанович

Основное заглавие: Материаловедение в микроэлектронике

Год публикации: 1979

Место издания: Москва

Издательство: Знание

Объем: 64 с.

Cерия: Новое в жизни, науке, технике

Ключевые слова: Микроэлектроника; Микроэлектронные схемы; Интегральные микросхемы; Материаловедение;

ББК: 32.844.15