Автор: Чернобровкин Дмитрий Иванович

Другие авторы: Кутолин Сергей Алексеевич

Основное заглавие: Материалы для тонкопленочных микросхем

Сведения, относящ. к заглавию: учебное пособие по микроэлектронике

Ответственность: Куйбышевский авиационный институт им. С. П. Королева

Год публикации: 1977

Место издания: Куйбышев

Издательство: КуАИ

Объем: 97 с.

Ключевые слова: Пленочные микросхемы;

ББК: 32.844.13

Библиография: Библиогр.: с. 95-96