Основное заглавие: Химическое газофазное осаждение тугоплавких неорганических материалов
Сведения, относящ. к заглавию: сборник статей
Ответственность: Государственный институт прикладной химии ; под редакцией Шпака В. С. и Аварбэ Р. Г.
Год публикации: 1976
Место издания: Ленинград
Издательство: Государственный институт прикладной химии
Объем: 103 с.
Ключевые слова: Тугоплавкие соединения; Газофазное осаждение;
ББК: 35.20/46я43
Библиография: Библиогр. в конце ст.
№ | Инвентарный номер |
Сигла | Статус | Дата возврата |
---|---|---|---|---|
1 | 1761708 | кх | Доступна | - |