Основное заглавие: Химия в микроэлектронике

Сведения, относящ. к заглавию: (пособие по курсу "Общая химия")

Ответственность: Московский институт электронной техники ; Петрова В. З., Ханова Н. А., Сорокин И. Н. [и др.] ; под редакцией Петровой В. З.

Год публикации: 1975

Место издания: Москва

Издательство: [б. и.]

Объем: 214 с.

Ключевые слова: Микроэлектроника; Физико-химические основы;

ББК: 32.577.1я7

Библиография: Библиогр.: с. 211-212