Автор: Харченко Валерий Владимирович

Другие авторы: Грейсух Моисей Рувимович

Основное заглавие: Легирование эпитаксиальных слоев полупроводников

Ответственность: Академия наук Узбекской ССР, Центральное проектно-конструкторское и технологическое бюро научного приборостроения

Год публикации: 1979

Место издания: Ташкент

Издательство: Фан

Объем: 122 с.

Ключевые слова: Полупроводники; Легирование; Эпитаксия; Полупроводниковые пленки;

ББК: 32.843.3-06

Библиография: Библиогр.: с. 115-121 (221 назв.)