Основное заглавие: Фоторезисты-диффузанты в полупроводниковой технологии

Ответственность: Гук Е. Г. [и др.] ; ответственный редактор Ельцов А. В. ; Академия наук СССР, Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе

Год публикации: 1984

Место издания: Ленинград

Издательство: Наука, Ленинградское отделение

Объем: 117 с.

Ключевые слова: Полупроводники; Фоторезисторы;

ББК: 32.852

Библиография: Библиогр. в конце глав