Основное заглавие: Фотолитография в производстве изделий электронной техники

Сведения, относящ. к заглавию: по материалам зарубежной печати за 1965-1967 гг.

Ответственность: Министерство электронной промышленности СССР

Год публикации: 1967

Место издания: Москва

Издательство: [б. и.]

Объем: 23 с.

Cерия: Технология и организация производства

Ключевые слова: Электронная техника; Фотолитография;

ББК: 32.85-06