Фoтoлитoграфия и oптика / авторы: Федотов Я. А. [и др.] ; под редакцией Федотова Я. А., Поля Г. - Москва : Советское радио ; Берлин : Техника, 1974. - 392 с. : ил. - Списки лит. в конце глав.



Основное заглавие: Фотолитография и оптика

Ответственность: авторы: Федотов Я. А. [и др.] ; под редакцией Федотова Я. А., Поля Г.

Год публикации: 1974

Место издания: Москва

Издательство: Советское радио ; Берлин : Техника

Объем: 392 с.

Ключевые слова: Фотолитография; Полупроводниковые приборы; Оптика;

ББК: 32.852-06

Библиография: Списки лит. в конце глав

1654953
 
Фoтoлитoграфия и oптика / авторы: Федотов Я. А. [и др.] ; под редакцией Федотова Я. А., Поля Г. - Москва : Советское радио ; Берлин : Техника, 1974. - 392 с. : ил. - Списки лит. в конце глав.
ББК 32.852-06
1654953-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же копию его фрагмента, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 1654953 кх Доступна -
Х

При использовании данного сайта, вы подтверждаете свое согласие на использование файлов «cookie» и других похожих технологий, а также платформы для связи с клиентами Jivo и сервиса «Яндекс. Метрика», «Яндекс Метрика для приложений» (AppMetrica), которое является частью политики ГБУК «СОУНБ» в отношении обработки персональных данных . Вы всегда можете отключить Cookie-файлы в настройках Вашего браузера